3月26日消息，中微精仪科技（深圳）有限公司（下称“中微精仪”）近日完成数千万元天使轮融资。本轮融资由东方富海独家投资，华君资本担任长期独家战略财务顾问。融资资金将主要用于研发投入和团队建设。

中微精仪成立于2024年11月，公司专注于激光超精密加工领域，核心业务涵盖碳化硅晶锭激光剥离、金刚石激光剥离、水导激光精密加工等高端工业激光装备的研发与制造。

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中微精仪创始人陈景煜为澳大利亚新南威尔士大学研究员，长期从事特种芯片集成开发；首席科学家孙洪波为中国科学院院士、清华大学教授，是“非线性激光超精密制造”领域的先驱，整个研发团队由清华大学 北京理工大学 吉林大学等博士团队组成。

公司自主研发的脉冲可编程技术，能够先将激光精准聚焦至晶锭内部进行改质（破坏晶格键而不产生裂纹），再通过另一套激光工艺引导裂纹定向延伸。这种分步控制的技术路径，使得切割损耗大幅降低。

东方富海表示：新型的超快冷激光切割技术可以有效解决SiC衬底切割的难点问题，实现切割速度快、切割损耗小、切割表面质量优的效果。目前全球SiC衬底处于高速扩产和6寸向8寸迈进的产业周期，传统的切割方式难以满足产业的要求，因此下游客户对于激光切割有着迫切需求。现阶段掌握高精尖激光装备制造公司稀有，产能严重不足，高度存在被“卡脖子”风险。中微精仪是我们目前看到的国际化的创始团队，技术团队拥有国际顶尖的研发能力，团队掌握超快冷激光切割设备最核心的光路调控技术，从机理探索-工艺开发-光学优化-系统设计具备完全自主可控的能力，未来的发展非常值得期待。